上海啟動8英寸“超越摩爾”研發中試線

　　新華社上海9月10日電 10日，由上海微技術工業研究院建設的8英寸“超越摩爾”研發中試線正式啟動，填補了我國微機電系統智能傳感器領域缺乏小批量中間性試驗生產線的空白。

　　隨著硅的工藝發展趨近於其物理瓶頸以及成本制約，業內專家認為，“超越摩爾”時代已經來臨，傳統摩爾定律或將面臨顛覆，將不再局限於依靠尺寸改變去推進集成電路制程節點，材料、工藝、結構等多維度的創新更加重要。

　　微機電系統智能傳感器，是一種新型傳感器，具有小體積、低成本、集成化、智能化等優點，領跑傳感器飛速發展。

　　傳感器，位於整個物聯網的基礎層，是數據採集的入口，也是物聯網的基石。據《2016-2017年中國物聯網發展年度報告》，目前我國約60%的傳感器依賴進口，微機電系統智能傳感器幾乎全部依賴進口。

　　中國科協副主席、上海微技術工業研究院創始人王曦院士認為，要擺脫微機電系統智能傳感器對進口的嚴重依賴、實現我國芯片產業的自主可控，當務之急是要建自主的8寸研發中試線。

　　8英寸研發中試線廠長游家杰說，我國微機電系統智能傳感器科研實力並不弱，沒有開發出領先產品是因為中試環節出現了斷檔。

　　游家杰介紹，新建成的研發中試線，目前規定產能是每月生產3000片左右晶圓，后期將達到5000片。“我們可以支撐用戶從幾百片到上千片的產能需求，小規模訂單先在中試線上孵化，一旦前期市場測試成功，就可以把大批量訂單轉移給大型代工廠，開始規模量產。”

　　據介紹，目前，研發中試線專注於微機電系統智能傳感器研發，未來將拓展至“超越摩爾”新型非數字、多元化半導體產品技術的創新，例如，高壓器件、生物醫療晶片等。（記者 王琳琳 劉暢）